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涂胶聚酰亚胺薄膜是集成电路行业用的化学材料

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涂胶聚酰亚胺薄膜是集成电路行业用的化学材料

发布日期:2017-10-19 作者:翊成网络 点击:

物质的液晶态,是介于无定形和晶形之间的一种状态。一些具有不对称分子结构的物质,在其熔融或转变为溶解状态条件下,不形成各向同性相而形成各向异性相。它们所表现的各向异性,包括双折射在内都和品体相符;以其流动性来说,却又是液体。这类物 质的点阵结构破坏之后,分子间相互保持着一定的整齐度,虽不及晶体那样规整,但同无 定形态所特有的无序态有本质上的区别。

物质形成液晶的特性,在一百多年前已发现,只是未能引起人们的特别注意。直到近二十年来,才发现液晶可应用于各种科学 技术领域。由于液晶物质作为灵敏的电磁场 材料和微小温差振荡材料的应用,人们便能在液晶的基础上设计出数字信号盘、可控电 场以及用以代替笨重电子显象管的电视屏,目前已能制造带有液晶数字盘的钟表。

由物质在液晶态时的分子相互整齐排列的原理,来解释上述原因是令人满意的。虽然液晶态时的分子整齐度不能象真实晶体那样表现出三维有序,但大分子所确定的平行 重复,为聚合物易于沿纤维轴取向提供了先决条件。由于这种有序在热力学上是平衡的, 因此证明纤维成形时所达到的取向也很稳定;这种取向不同于柔性链聚合物纤维中的 不稳定取向。柔性链聚合物中,大分子相互 间的无序排列符合热力学平衡状态。即使在 加强拉伸的条件下,纤维中的聚合物亦可能发生热解取向。基于强度性能多半为聚合物的取向所决定,在液晶态聚合物溶液成形的情形下便可获得很大的强度(近于极值)。所以,一般认为这种刚性链聚合物纤维能够达到独特的强度指标。


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涂胶聚酰亚胺薄膜在微电子器件、电路技术方面,随着高集成度、超高速、超高频 集成电路及器件的开发,集成电路与器件的特征尺寸越来越精细, 加工尺寸已进人深亚微米、百纳米甚至纳米级。但要达到这个目 标,必须对半导体与集成电路行业用的化学材料,如光致抗蚀剂 (光刻胶)、高纯试剂、特种气体、封装材料等提出更高的要求,使其 保持同步或超前发展。

光致抗蚀剂(光刻胶)的开发,从g线((436 nm)向i线(365 nm)、准分子激光束( KrF, 248 nm和ArF, 193 nm)以及电子束、x射 线、离子束等一系列新型辐射敏感材料发展,重点是i线与电子束 化学放大抗蚀剂。

在高纯试剂的发展方向上,重点进行适用于0. 2^-0.6 ,.cm工 艺技术的超净高纯试剂的研究开发,同时开展0. 09-0. 2 5m工 艺技术加工所需超净高纯试剂的前期研究。

在特种气体方面,将重点解决气体纯化技术和高纯或腐蚀气 体包装技术,增加对环境无害的特种气体品种的开发生产(如,三 氟化氮、六氟化钨等),大力开发混合气体的生产(如,氟氮、氟氦、 氟氢等),提高分析检测精度。


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